高数值孔径投影光刻中的偏振效应
在前面的部分中,使用标量模型描述了成像过程,但其中不包括任何偏振现象,而高数值孔径系统的应用引入了几个重要的偏振效应。本节将概述照明必须考虑的相关偏振效应、掩模的光衍射、高NA投影物镜光瞳的描述...
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